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Pura Plus在线微量湿度异动变送器

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产品名称: Pura Plus在线微量湿度异动变送器
产品型号: Pura Plus
产品展商: 其它品牌
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简单介绍

Pura Plus在线微量湿度异动变送器


Pura Plus在线微量湿度异动变送器  的详细介绍

Pura Plus在线微量湿度异动变送器的详细资料

新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示,在 20 ppb 湿气级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

技术指标

响应速度 <1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间
湿度量程 1 ppb to 20,000 ppm
压力范围 0 to 10 bar
耐压等级 300 bar
泄漏测试 0-9 mbar l/s
工作流量范围 1 ~ 10 l/min
工作温度 5 ~ 40°C
存储温度 30 ~ 70°C
电源 20 ~ 28 V DC
功耗 5 W *大
外部保险丝等级 500 mA 快熔型
数据输出 Modbus ASCII 两线 RS485
警告和报警输出 2 路
*大电压 40 V DC
*大电流 100 mA
气体接触的材质
外壳材质 不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra
传感器结构 氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层
内部容积 4.4cm³
重量 450g
气路接口 1/4" m VCR
电气接口 9 - 针 D - 型 m 接口
电磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2
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